3軸円筒座標型真空対応クリーンロボットLVHR3000シリーズ
S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送します。
ガラス基板対応3軸円筒座標型真空対応クリーンロボットLVHR3000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています。S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送します。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
- 企業:株式会社ジェーイーエル
- 価格:応相談
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S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送します。
ガラス基板対応3軸円筒座標型真空対応クリーンロボットLVHR3000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています。S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送します。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。